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光譜儀特點(diǎn)：1、射頻發(fā)生器的高壓供電回路，采用的電子技術(shù)，淘汰了笨重的升壓變壓器和高頻阻流圈，采用功率閉環(huán)反饋技術(shù)，控制精度于0.1% 2、全自動(dòng)點(diǎn)火 氣路智能控制，實(shí)現(xiàn)軟件點(diǎn)火，更方便3.安全冷卻水保護(hù)、氬氣保護(hù)、過壓、過流、滅弧保護(hù)更安全4.輸出功率自動(dòng)匹配調(diào)諧，功率參數(shù)軟件程序設(shè)定5.分光器內(nèi)充氬氣，使波長(zhǎng)在180nm的硫和189nm的Sn得到很靈敏的效果